與螺桿式緊縮機相似，螺桿式真空泵的作業進程可分為吸氣、緊縮和排氣三個進程。跟著轉子的旋轉，每對彼此嚙合的齒相繼完結一樣的作業循環，如今以其間一對齒來闡明。吸氣進程，陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉。
螺桿式真空泵的吸氣進程：1.吸氣進程行將開端 2.吸氣進程中 3.吸氣進程完畢
　　吸氣進程行將開端時的轉子方位。在這一時間，這一對齒前端的型線徹底嚙合，且行將與吸氣口銜接。跟著轉子開端滾動，因為齒的一端逐步脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴展，在其內部形成了必定的真空，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因而氣體便在壓差效果下流入其間。在隨后的轉子旋轉進程中，陽轉子齒不斷從陰轉子齒的齒槽中脫離出來，齒間容積不斷擴展，并與吸氣孔口堅持連通。吸氣進程完畢時的轉子方位，其明顯的特點是齒間容積到達峰值。跟著轉子的旋轉，所研討的齒間容積不會再增加。齒問容積在此方位與吸氣孔口斷開，吸氣進程完畢。
    螺桿式真空泵的緊縮進程：1.緊縮進程行將開端 2.緊縮進程中 3.緊縮進程完畢，排氣進程行將開端
    螺桿泵緊縮進程行將開端時的轉子方位.此刻氣體被轉子齒和機殼包圍在一個關閉的空間中，齒間容積因為轉于齒的嚙合就要開端減小。跟著轉子的旋轉，齒間容積因為轉子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據體積也隨之減小，導致壓力增加，然后實現氣體的緊縮進程，緊縮進程可一向繼續到齒間容積行將與排氣孔口連通之前。
    排氣進程：a、排氣進程中 b、排氣進程完畢
　　螺桿泵的排氣進程。齒間容積與排氣孔口連通后，即開端排氣進程。跟著齒間容積的不斷減小，具有排氣壓力的氣體逐步經過排氣孔口被排出，這個進程一向繼續到齒結尾的型線徹底嚙合。此刻，齒間容積內的氣體經過排氣孔口被徹底排出，關閉的齒間容積的體積變為零。
從上述螺桿干式真空泵作業原理能夠看出，螺桿式干式真空泵是一種作業容積作回轉運動的容積式機械真空泵。氣體的緊縮依托容積的改變來實現，而容積的改變又是憑借螺桿泵的一對轉子在機殼內作回轉運動來到達。它的作業客積在周期性擴展和減小的同時，其空間方位也在改變。